Дар фитникатсияи нимнасозӣ, газҳо ҳама корҳо ва лазерҳоро ба даст меоранд. Гарчанде ки лазерҳо ба крементҳо ба кремнонӣ табдил меёбанд, ки аввал лойро пасандозҳо ва лазерро вайрон мекунанд, то ки мобилии хаттӣ як қатор газҳо бошад. Тааҷҷубовар нест, ки ин газҳо, ки барои рушди микропотексҳо тавассути раванди бисёр марҳалиба истифода мешаванд, аз покии баланд доранд. Илова ба ин маҳдудият, аксарияти онҳо нигарониҳо ва маҳдудиятҳои дигар доранд. Баъзе аз газҳо зира мебошанд, баъзеи дигарон сироят мекунанд ва дигарон хеле заҳролуданд.
Дар маҷмӯъ, ин маҳдудиятҳо системаҳои тақсимоти газро барои саноати нимноқилӣ ташкил медиҳанд. Тавусусиятҳои моддӣ талаб карда мешаванд. Илова бар тавсифи моддӣ, массиви тақсимоти газ як қаторкоми электронии электронии системаҳои алоқаманд аст. Муҳитҳое, ки дар он ба васл карда шудаанд, мураккаб ва такрорӣ мебошанд. Фаъолияти ниҳоӣ дар сайт ҳамчун як қисми раванди насбкунӣ сурат мегирад. Идмащтани Orbital ба пешвози талаботи тақсимоти гази сӯзишворӣ ҳангоми кашидани муҳитҳои зич ва душвор дар муҳити зич ва душвор кӯмак мекунад.
Чӣ гуна газҳо дар саноати нимноқил истифода мешаванд
Пеш аз кӯшиши банақшагирии истеҳсоли системаи тақсимоти газ, фаҳмидани ҳадди аққал асосҳои истеҳсоли нимноқилҳо зарур аст. Дар аслӣ, нимноқилҳо газҳо газҳоро барои амонатҳои наздиктарин дар сатҳи мавҷуда истифода мебаранд. Сипас ин сахтгирандагони мағоза пас аз ворид намудани газҳои иловагӣ, лазерҳо, гирифтани кимиёвӣ ва гармӣ тағйир дода мешаванд. Қадамҳо дар раванди васеъ инҳоянд:
Депоза: Ин ҷараёни сохтани кремнитии ибтидоии силикраи ибтидоӣ мебошад. Газҳои прекситорҳои силиклон ба Палатаи кафедраи вакуумӣ насл карда мешаванд ва тавассути ҳамкориҳои кимиёвӣ ё ҳамкориҳои ҷисмонӣ моил мешаванд.
Фотографография: Қисмати аксҳо ба лазерҳо ишора мекунад. Дар литографияи ултрографии баландтар (EUV), ки барои микросхемаҳои баландтарин истифода бурда мешавад, лазери карбон ба etch-и микропровессорҳо дар фурӯзон истифода мешавад.
Etching: Дар ҷараёни وري: Гази галоген-карбон-Газ ба палата барои фаъол ва пароканда кардани маводи интихобшуда дар оксигени кремнонӣ. Ин раванд ба таври муассир дар бораи гардиши лазерӣ ба оксигент самаранок ишора мекунад.
DOPing: Ин қадами иловагӣест, ки барои муайян кардани шартҳои дақиқи нимҳадӣ тағйир меёбад.
Муҳтарам: Дар ин раванд, аксуламалҳо дар байни қабатҳои кафолатон бо фишори баланд ва ҳарорат пайдо мешаванд. Аслан, он натиҷаҳои раванди пешинро комилан иҷро мекунад ва протсессори охириниро дар кафер эҷод мекунад.
Палата ва тозакунии сатр: Назакҳои дар қадамҳои қаблӣ истифода мешаванд, алалхусус аз рафтан ва доғҳо, аксар вақт заҳролуд ва реактивӣ мебошанд. Аз ин рӯ, Палатаи раванд ва газҳои газ ба он тааллуқ доштан лозим аст, ки аз безарарҳои безараргардӣ кам карда шаванд ва сипас бо газҳои ITTERT пур карда шаванд ва пас аз он, ки ҷудо кардани ҳама гуна газҳои ифлоскунанда аз муҳити беруна пур шаванд, пур шаванд.
Системаҳои тақсимоти газ дар саноати нимноқилҳо аксар вақт мураккабанд, зеро газҳои мухталифи ҷалбшуда ва назорати қатъии ҷараёни газ, ҳарорат ва фишор, ки бояд бо мурури замон нигоҳ дошта шаванд. Ин аз ҷониби тозагии ултра-баланди барои ҳар як газ дар ҷараён зарур аст. Газҳое, ки дар қадами қаблӣ истифода мешаванд, бояд аз хатҳо ва палатаҳо шуста шаванд ё ба тариқи дигар безараргардонидашуда пеш аз оғози раванд оғоз карда шаванд. Ин маънои онро дорад, ки интерфейсҳои махсус, интерфейс байни ш.
Ғайр аз он, газҳои берунӣ ва махсусӣ бо системаҳои зиёдатӣ дар муҳити тоза ва минтақаҳои махсусгардонидашуда барои кам кардани ҳама гуна хатарҳо дар сурати ихтидори тасодуфӣ. Иҷро кардани ин системаҳои газ дар чунин муҳити мураккаб кори осон нест. Аммо, дар нигоҳубин, таваҷҷӯҳ ба тафсил ва таҷҳизоти ҳуқуқӣ ин вазифа бомуваффақият анҷом дода мешавад.
Истеҳсоли системаҳои тақсимоти газ дар саноати нимнарзӣ
Маводи истифодашуда дар системаҳои тақсимоти гази нимназарҷшуда хеле тағирёбанд. Онҳо метавонанд чизҳоро ба монанди қубурҳои металлии PTFE-ZETE ва HOSES дохил кунанд, то газҳои хеле зангногир муқобилат кунанд. Маводи маъмултарини барои қубурҳои умумии қубурҳои умумӣ дар саноати нимноқилӣ 316L пӯлоди зангногир аст - варианти пӯлоди сусти карбон. Вақте ки он ба 316L 816, 316L муқовимат мекунад, ба харгӯши байнисоҳавӣ бештар тобовар аст. Ҳангоми муносибат бо як қатор газҳои ноустувор ва эҳтимолан ноустувор аст, ки карбонро ҷудо карда метавонанд. Иҷозатзананда 316 милли сабти зангногир онҳо камтар аз боришоти карбон камтар аст. Он инчунин потенсионии эрозияи ғалладона коҳиш меёбад, ки метавонад ба асрозияҳо дар кафшерҳо ва минтақаҳои зарардида оварда расонад.
Барои кам кардани эҳтимолияти лифти лӯлаҳои хароб ва ифлосшавии хатти маҳсулоти тозакунанда, 316Ҳ Рӯйхати талоши гази бесарусомонӣ, ки релизҳои кафшери барқ доранд, полиси кафшершуда стандарт дар саноати нимноқил аст. Ягона раванди кафшерӣ, ки барои нигоҳ доштани муҳити баланди покӣ дар қубурҳои раванд, назоратро таъмин мекунад. Идоракунии автоматикии Orbital танҳо назорати такрории ҷараёни заруриро барои ба итмом расонидани системаи тақсимоти гази газетӣ таъмин менамояд. Далели кафшҳои кафшеркунии Orbity метавонад ҷойҳои серодамонро дар чорроҳаи мураккаб ҷойгир кунад, ки дар байни минтақаҳои раванд бартарӣ истифода барад.
Shenncen Wofei Co. Мо наметавонем на танҳо доираи васеи валанҳо ва арматҳоро барои нигоҳ доштани газҳои электронии электронӣ, балки инчунин тарҳрезии интиқоли газ ва таҷҳизоти таҷҳизотро таъмин намоем.
Вақти почта: Ҷул-31-2023