Технологияи қубурҳои лоғарҳои баландпояи газ қисми муҳими системаи гази баландпояи гази баландкифотӣ, ки технологияи калидӣ барои расонидани гази зарурии пок-покталаб ба нуқтаи истифода мебошад ва сифати тахассусиро нигоҳ дорад; Технологияи қубурҳои газвори баланд тарҳи дурусти системаро дар бар мегирад, интихоби ҳитҳо ва лавозимот, сохтмон ва насб ва санҷиш. Дар солҳои охир, талаботи бештар ба тозагӣ ва паст кардани маводи газҳои баландкӯҳҳо дар истеҳсоли микроэлементҳои аз ҷониби микроситаҳои дорои микроэлементҳои аз ҷониби микросхетриҳои маҷмӯӣ технологияи лӯлаҳои газҳои баландтари эҳтимолӣ ва таъкид кардаанд. Дар зер шарҳи мухтасари қубурҳои гази баланд аз интихоби моддӣ иборат астof Сохтмон, инчунин қабул ва идоракунии ҳаррӯза.
Намудҳои газҳои умумӣ
Таснифи газҳои умумӣ дар соҳаи электрониён:
Газҳои умумӣ(Гази калон): гидроген (з2), нитроген (n2), оксиген (o2), Argon (a2) ва ғайра.
Газҳои махсуссиҳол мебошанд4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,Hcl,CF4 ,NH3,Саҳми POCL3, Shih2cl2 Sihcl3,NH3, BCL3 ,Sif4 ,Клац3 ,Co,C2F6, N2o,F2,Hf,Hbr sf6...... ва ғайра.
Намудҳои газҳои махсус одатан метавонанд ҳамчун классобона тасниф карда шавандгаз, заҳргаз, оташгирандагаз, безараргардандагазИнтертгазва ғайра. Газҳои маъмулии маъмулӣ истифодашаванда умуман ба таври зерин тасниф карда мешаванд.
(i) CallSive / TOXICгаз: HCL, BF3, Wf6, Hbr, sih2Cl2Nh3В3, Cl2, Bcl3... ва ғайра.
(ii) Оташгаз: H2, Ch4, Sih4В3, Ash3, SIH2Cl2, Б2H6, Ch2F2,Г3F, CO ... ва ғайра.
iii) омузиш багаз: O2, Cl2, Н2O, nf3... etc.
(iv) Инертгаз: N2, CF4, В2F6, В4F8,Сф6, CO2, Не, KR, ӯ ... ӯ ...
Бисёр газҳои нимноқил ба бадани инсон зарароваранд. Аз ҷумла, баъзе аз ин газҳо, ба монанди сеҳ4 Омезиши стихиявӣ, то даме ки ихроҷ ба оксиген дар ҳаво шурӯъ мекунад ва сӯзонданро сар мекунад; ва хокистар3Беҳтарин заҳролуд аст, ҳама ихроҷи ночиз метавонад боиси хатари ҳаёти инсон гардад, зеро ин хатарҳои возеҳ аст, бинобар ин талабот барои бехатарии тарроҳии система махсусан баланд аст.
Соҳаи аризаи газҳо
Ҳамчун ашёи муҳими хоми заминии соҳаи заминӣ, маҳсулоти газӣ ба таври васеъ истифода мешаванд ва шумораи зиёди газҳои умумӣ, саноати кимиёвӣ, мошин, масолеҳи сохтмон, сохтмон, коркарди озуқаворӣ, коркарди озуқаворӣ, коркарди озуқаворӣ ва тиббӣ истифода мешаванд. Татбиқи газ ба технологияи баланди ин соҳаҳо таъсири муҳим дорад ва оё гази хоми хом ё гази коркард аст. Танҳо бо эҳтиёҷот ва пешбурди бахшҳои гуногуни нав ва технологияи муосири нав ва технологияи нав метавонад тавассути ҷаҳишҳо ва маҳдудиятҳо дар робита ба навъҳо, сифат ва миқдор таҳия карда шавад.
Аризаи газ дар саноати микроэлектритон
Истифодаи бензин ҳамеша дар раванди нимноқилӣ нақши муҳимро бозидааст, зеро раванди анъанавии ulsi, TFT-LCD ба соҳаи микроэлектрадризми механикӣ (муллоҳои механикӣ), ки ҳамаи онҳо раванди ба ном як раванди нимноқилро ҳамчун раванди истеҳсолии маҳсулот истифода мебаранд. Покизагии газ ба иҷрои ҷузъҳо ва ҳосили маҳсулот таъсири ҳалкунанда дорад ва амнияти интиқоли газ бо саломатии кадрӣ ва бехатарии корхонаи растаниҳо алоқаманд аст.
Аҳамияти қубурҳои тозагӣ дар нақлиёти гази баландпояи гази баланд
Дар ҷараёни обшавии аз пӯлоди зангногир ва мавод, тақрибан 200г газ метавонад ба як тонна ҷаббида шавад. Пас аз коркарди пӯлоди зангногир, на танҳо часпидаи он бо ифлосшавии гуногун, балки дар лати метири худ инчунин миқдори муайяни газро ҷаббида гирифт. Вақте ки тавассути қубури ҳавопаймо мавҷуд аст, металлӣ ин қисми газро аз даст медиҳад, ҳавопайморо дубора ворид мекунад, гази покро ифлос мекунад. Вақте ки ҳавопаймо ҷараёни қатъӣ аст, қубур гази зери фишор газда аст ва вақте ки ҳавопаймоҳо аз ҷониби най бозуи фишорро ташкил медиҳад ва гази ҳалношуда низ ба гази пок дар найча ҳамчун ифлосшавӣ ворид мешавад. Ҳамзамон, AdSORPUST ва қатънома такрор карда мешавад, то ки металлҳо дар сатҳи ботинии лӯлаи лӯлаи лӯлаи инчунин хокаи муайяни хока истеҳсол кунад ва ин зарраҳои пурраи хокаро ифлос мекунад. Ин хусусияти найро барои таъмини тозагии гази интиқолшуда муҳим аст, ки на танҳо ҳамвории баланди сатҳи ботинии найро талаб мекунад, балки муқовимати баланд.
Вақте ки газ бо фаъолияти сахт кор кардан истифода мешавад, қубурҳои пӯлоди зангзананда ба зангзананда занг задан бояд барои қубурҳо истифода шаванд. Дар акси ҳол, қубур нуқтаҳои асрориро дар сатҳи ботинӣ бо сабаби тағйироти дохилӣ хоҳад кард ва дар ҳолатҳои ҷиддӣ майдони зиёди дуздии металл ё ҳатто перенсия хоҳад буд, ки гази покро тақсим мекунад.
Пайвасти қубурҳои баланди интиқол ва интиқоли гази баланд ва тақсимоти меъёрҳои зиёд.
Умуман, ба ҳамаи онҳо кафшер карда мешаванд ва қубурҳо барои истифодаи кафшер дар ташкилот тағир дода намешаванд. Маводҳои дорои сатҳи баланди мундариҷаи карбон буда, ҳангоми кафшер кардани газҳои кафшерӣ, ки ба берун воридшавии газҳо ва тозагии гази интиқолшуда ворид карда мешаванд, ба гум шудани тамоми саъю кӯшишҳои мо мегардад.
Хулоса, барои гази баландпояи гази баландпояи газ ва интиқоли махсуси интиқоли гази интиқоли газ, системаи лоғар, орденҳо, вентиляторҳо, VMP, VMP, VMP, VMP) -ро дар тақсимоти гази тозаи баланд истифода бурдан мумкин аст.
Консепсияи умумии технологияи тоза барои лӯлаи интиқол ва тақсимот
Гузаргоҳи гази баланди гази пок ва тоза бо қубур маънои онро дорад, ки талабот ё назорати се ҷанбаи газ вуҷуд доранд.
Покии газ: мундариҷаи фазои нопок дар тозагии GGAs: мундариҷаи атмосфераи нопурра, ки одатан ҳамчун фоизи тозагии газ ифода карда шудааст, инчунин ба ҳайси таносуби баландии максималии фонди саҳми PPM, PPP, PPT ифода карда мешавад.
Хушкӣ: миқдори пай тафовут дар газ, ё миқдори тарғиб, ки тарҳи тарки шабона ифода ёфтааст, ба монанди фишори фишори атмосфера нуқтаи шабнам -70. В.
Тозагӣ: Шумораи зарраҳои ифлосшуда, ки дар газ мавҷуданд, андозаи зарринҳои обрӯӣ, чӣ қадар зарраҳо / M3, ба ҳавои фишурдашуда, ки миқдори зиёди микрро ифода мекунанд, ки мундариҷаи нафтро дар бар мегирад.
Таснифҳои андозаи ифлоскунанда: зарраҳои ифлоскунанда, пӯшидани зарраҳои лӯлаи металлӣ, ва инчунин микроорганизмҳо, фосила, диванҳо ва нуқтаҳои рукники дорои меъёри сӯзишворӣ
а) зарраҳои калон - андозаи заррин аз 5 мкм
б) зарра - диаметри моддӣ байни 0,1 мокм-5μm
в) зарраҳои ултра-микро - андозаи заррин камтар аз 0,1 м.
Бо мақсади баланд бардоштани истифодаи ин технология, то фаҳмидани андозаи зарон ва воҳидҳои μm, маҷмӯи мақоми мушаххаси заррин барои истинод пешниҳод карда мешавад
Инҳо муқоисаи зарраҳои мушаххас мебошанд
| Ном / заррача (мкм) | Ном / заррача (мкм) | Ном / заррача (мкм)) |
| Вируси 0.003-0.0 | Aerosol 0.03-1 | Микрофлети Aerosolized 1-12 |
| Сӯзишномаи ядроӣ 0,01-0.1 | Ранг 0.1-6 | Ash 1-200 |
| Карбон сиёҳ 0.01-0.3 | Хокаи шир 0,1-10 | Пестисид 5-10 |
| Rurein 0.01-1 | Бактерияҳо 0.3-30 | Кусти семент 5-100 |
| Дуди сигор 0.01-1 | Хокаи қум 0.5-5 | Пурсиш 10-15 |
| Силикон 0.02-0.1 | Пестисид 0,5-10 | Мӯи инсон 50-120 |
| Намаки кристалл 0.03-0.5 | Хокаи консентратсияи сулфур 1-11 | Реги баҳрӣ 100-1200 |
Вақти почта: Jun-14-2022