Технологияи қубурҳои гази тозаи баланд қисми муҳими системаи таъминоти гази баландсифат мебошад, ки технологияи калидӣ барои расонидани гази баландсифати зарурӣ ба нуқтаи истифода ва нигоҳ доштани сифати баландихтисос мебошад;Технологияи қубурҳои гази тозаи баланд тарҳрезии дурусти система, интихоби арматура ва лавозимот, сохтмон ва насб ва озмоишро дар бар мегирад.Дар солҳои охир, талаботи торафт сахтгирона нисбат ба тозагӣ ва ифлосии газҳои баландсифат дар истеҳсоли маҳсулоти микроэлектроника, ки бо микросхемаҳои интегралӣ миқёси калон муаррифӣ мешаванд, технологияи қубурҳои газҳои тозаро бештар ба ташвиш овардааст ва таъкид мекунад.Дар зер шарҳи мухтасари қубурҳои гази баландсифат аз интихоби мавод оварда шудаастof сохтмон, инчунин кабул ва идораи харруза.
Намудҳои газҳои умумӣ
Таснифи газҳои маъмул дар саноати электроника:
Газҳои умумӣ（Гази яклухт): гидроген (H2), нитроген (Н2), оксиген (О2), аргон (А2), ғайра.
Газҳои махсусSiH мебошанд4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,СИФ4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… ва ғайра.
Намудҳои газҳои махсусро одатан ҳамчун зангзананда тасниф кардан мумкин астгаз, заҳрнокгаз, оташгирандагаз, оташгирандагаз, бетарафгаз, ва ғайра. Газҳои нимноқилҳои маъмулан истифодашаванда ба таври зерин тасниф карда мешаванд.
(i) заҳролуд / заҳролудгаз: HCl, BF3, ВФ6, HBr, SiH2Cl2, НХ3, PH3, Кл2, BCl3…ва ғайра.
(ii) оташгирандагаз: Х2, Ч4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, Б2H6, CH2F2,Ч3F, CO… ва ғайра.
(iii) сӯзишворӣгаз: О2, Кл2, Н2О, НФ3… ва ғайра.
(iv) ғайрифаъолгаз: Н2, CF4, Ц2F6, Ц4F8,СФ6, CO2, Ne, Kr, He… ва ғайра.
Бисёр газҳои нимноқилӣ барои бадани инсон зарароваранд.Аз чумла, баъзе аз ин газхо, монанди SiH4 сӯхтори стихиявӣ, то даме ки ихроҷ бо оксиген дар ҳаво шадидан реаксия карда, сӯхтанро оғоз мекунад;ва АС3хеле заҳролуд, ҳар гуна ихроҷи ночиз метавонад боиси хатари ҳаёти инсон гардад, маҳз аз ҳамин хатарҳои ошкор аст, бинобар ин талабот ба бехатарии тарҳи система махсусан баланд аст.
Доираи истифодаи газҳо
Ҳамчун ашёи муҳими асосии саноати муосир маҳсулоти газ васеъ истифода бурда мешавад ва миқдори зиёди газҳои умумӣ ё газҳои махсус дар металлургия, пулод, нефт, саноати химия, мошинсозӣ, электроника, шиша, сафол, масолеҳи сохтмон, сохтмон истифода мешаванд. , саноати хурокворй, тиб ва тиб.Истифодаи газ ба технологияи баланди ин конҳо таъсири муҳим дорад ва гази ашёи хом ё гази коркарди он мебошад.Танхо бо эхтиёчот ва пешбарй намудани сохахои гуногуни саноат ва илму техникаи хозиразамон махсулоти саноати газро аз чихати навъ, сифат ва микдор хеле тараккй кардан мумкин аст.
Истифодаи газ дар микроэлектроника ва саноати нимноқилҳо
Истифодаи газ ҳамеша дар раванди нимноқилҳо нақши муҳим дошт, махсусан раванди нимноқилҳо дар соҳаҳои мухталиф, аз ULSI анъанавӣ, TFT-LCD то саноати ҳозираи микро-электро-механикӣ (MEMS) васеъ истифода мешуданд. ки процесси ба ном нимнокилро хамчун процесси истехсоли махсулот истифода мебаранд.Тоза будани газ ба кори ҷузъҳо ва ҳосилнокии маҳсулот таъсири ҳалкунанда мерасонад ва бехатарии таъминоти газ ба саломатии кормандон ва бехатарии фаъолияти корхона вобаста аст.
Аҳамияти қубурҳои баландсифат дар нақлиёти гази тоза
Дар раванди гудохтан ва сохтани мавод аз пӯлоди зангногир дар як тонна тақрибан 200 грамм газ ҷаббида мешавад.Баъди коркарди пӯлоди зангногир на танҳо рӯи он бо ифлоскунандаҳои гуногун часпида буд, балки дар торчаи металлии он низ миқдори муайяни газро ба худ мекашид.Вақте ки тавассути қубур ҷараёни ҳаво вуҷуд дорад, металл ин қисми газро ҷаббида, дубора ба ҷараёни ҳаво ворид мешавад ва гази софро ифлос мекунад.Ҳангоме ки ҷараёни ҳаво дар қубур ҷараёни ноустувор аст, қубур газро зери фишор адсорб мекунад ва вақте ки ҷараёни ҳаво гузаштанро қатъ мекунад, газе, ки тавассути қубур адсорб карда шудааст, коҳиши фишорро ба вуҷуд меорад ва гази ҳалшуда низ ба гази холис дар қубур ворид мешавад. ҳамчун ифлосиҳо.Дар баробари ин адсорбсия ва резолюция такрор мешавад, ки филизи сатхи дарунии найча низ як микдори хокаро ба вучуд меорад ва ин заррахои чанги металли гази софи дохили найчаро низ ифлос мекунанд.Ин хусусияти қубур барои таъмини тозагии гази интиқолшаванда муҳим аст, ки на танҳо ҳамвор будани сатҳи дарунии қубур, балки муқовимати баланди фарсудашавиро талаб мекунад.
Ҳангоми истифода бурдани гази дорои қобилияти зангзании қавӣ, барои қубурҳо қубурҳои аз пӯлоди зангногир ба зангзанӣ тобовар истифода мешаванд.Дар акси ҳол, қубур аз сабаби зангзанӣ дар сатҳи ботинӣ доғҳои зангзанӣ ба вуҷуд меорад ва дар ҳолатҳои вазнин, майдони зиёди кандашавии металл ё ҳатто сӯрохҳо ба амал меояд, ки гази софи тақсимшавандаро олуда мекунад.
Пайваст кардани трубопроводхои газопроводхои соф ва тозагии баланд, ки суръати харакати калон доранд.
Аслан, ҳамаи онҳо кафшер карда мешаванд ва қубурҳои истифодашуда ҳангоми кафшер ҳеҷ гуна тағирот надоранд.Маводҳои дорои миқдори зиёди карбон ҳангоми кафшер ба гузариши ҳавои қисмҳои кафшершуда дучор мешаванд, ки ба ҳам ворид шудани газҳо дар дохили қубур ва берун аз қубур мегардад ва тозагӣ, хушкӣ ва тозагии гази интиқолшавандаро вайрон мекунад, ки дар натиҷа тамоми чидду чахди мо.
Хулоса, барои гази тозаи баланд ва қубурҳои махсуси интиқоли газ, бояд коркарди махсуси қубурҳои аз пӯлоди зангногир баландсифат истифода бурда, системаи қубурҳои тозаи баланд (аз ҷумла қубурҳо, арматура, клапанҳо, VMB, VMP) дар таксимоти гази соф баланд вазифаи хаётан мухимро ишгол мекунад.
Консепсияи умумии технологияи тозаи қубурҳои интиқол ва тақсимот
Интиқоли бадани гази хеле пок ва пок бо қубур маънои онро дорад, ки барои се ҷанбаи гази интиқолшаванда талабот ё назорати муайян мавҷуд аст.
Тозагии газ: Мазмуни атмосфераи наҷосат дар тозагии gGas: Мазмуни атмосфераи наҷосат дар газ, одатан бо фоизи тозагии газ ифода карда мешавад, ба монанди 99,9999%, инчунин ҳамчун таносуби ҳаҷми таркиби атмосфераи наҷосат ppm, ppb, ppt.
Хушкӣ: миқдори намии пай дар газ, ё миқдоре, ки тар номида мешавад, одатан бо нуқтаи шабнам ифода мешавад, ба монанди нуқтаи шабнам фишори атмосфера -70.C.
Тозаӣ: шумораи зарраҳои ифлоскунандаи дар газ мавҷудбуда, андозаи заррачаҳои мкм, чанд зарра/М3 барои ҳавои фишурда ифода карда мешавад, одатан инчунин аз рӯи миқдори чанд мг/м3 пасмондаҳои сахти ногузир, ки таркиби нафтро фаро мегирад, ифода карда мешавад. .
Таснифи андозаи моддаҳои ифлоскунанда: зарраҳои ифлоскунанда, асосан ба тоза кардани қубурҳо, фарсудашавӣ, зангзании аз зарраҳои металлӣ, зарраҳои хоки атмосфера, инчунин микроорганизмҳо, фагҳо ва қатраҳои конденсатии гази дорои маводи моеъ ва ғайра, мувофиқи андозаи андозаи зарраҳои он дахл дорад. ба тақсим мешавад
а) Заррачаҳои калон – андозаи зарраҳо аз 5 мкм
б) Зарра – диаметри моддӣ байни 0,1мкм-5мкм
в) Заррачаҳои ултрамикро - андозаи зарраҳо камтар аз 0,1 мкм.
Барои такмил додани татбиқи ин технология, барои фаҳмидани дарки андозаи зарраҳо ва воҳидҳои мкм, маҷмӯи ҳолати мушаххаси зарраҳо барои истинод пешниҳод карда мешаванд.
Дар зер муқоисаи заррачаҳои мушаххас оварда шудааст
| Ном / Андозаи зарраҳо (µm) | Ном / Андозаи зарраҳо (µm) | Ном/ Андозаи заррачаҳо (µm) |
| Вирус 0.003-0.0 | Аэрозол 0,03-1 | Микрокатраи аэрозолии 1-12 |
| Сӯзишвории ҳастаӣ 0,01-0,1 | Ранг 0,1-6 | Хокистар 1-200 |
| Сиёҳ карбон 0,01-0,3 | Хокаи шир 0,1-10 | Пестицид 5-10 |
| Қатрон 0,01-1 | Бактерияхо 0,3—30 | Хоки цемент 5-100 |
| Дуди сигор 0,01-1 | Хоки рег 0,5—5 | Гулча 10-15 |
| Силикон 0,02-0,1 | Пестицид 0,5-10 | Мӯйи одам 50-120 |
| Намаки кристаллшуда 0,03-0,5 | Хоки концентратшудаи сулфур 1-11 | Реги баҳрӣ 100-1200 |
Вақти фиристодан: июн-14-2022