Газҳои тозаи ултра-баландтар дар тамоми занҷирҳои тобеи нимназарӣ муҳиманд. Дар асл, барои бад шудани бад газҳои баландқабати баландтаринест, ки пас аз худи силикон хароҷоти калонтарини моддӣ мебошанд. Дар бедории норасоии глобалии чипи, саноат тезтар аз ҳарвақта тезтар густариш меёбад ва талабот ба газҳои баландтар меафзояд.
Аз ҳама газҳои аз ҳама маъмулан истифодашуда дар истеҳсоли нимноқилҳо нитроген, гармхона, гидроген ва CANNAN мебошанд.
Nайроген
Нитроген 78% атмосфераи моро ташкил медиҳад ва хеле фаровон аст. Он инчунин ба амал меояд, ки химия ва ғайрисарашавӣ. Дар натиҷа, нитроген роҳи худро ба як қатор соҳа ҳамчун гази самараноки он пайдо кард.
Саноати нимназркунанда истеъмолкунандаи асосии нитроген мебошад. Интизор меравад, ки нерӯгоҳи истеҳсолии нимноқилонии нимназаркази семникӣ то 50000 метри мукааб аз нитроген дар як соат истифода барад. Дар нимҷазираи нитроген ҳамчун ҳадафи умумӣ ва тозакунии газ, муҳофизати кремнийи ҳассосро аз оксиген ва намӣ ҳассос аз оксиген ва маводи моеъ дар ҳаво муҳофизат мекунад.
Гармӣ
Ҳелй газе мебошад. Ин маънои онро дорад, ки, ба монанди нитроген, Headium химия аст - аммо он инчунин бартарии иловагии пешбурди гармии баланд дорад. Ин махсусан дар нимсабатор истеҳсол карда мешавад, ки ба самаранокии самараноки он аз равандҳои сершумори энергетикӣ мусоидат кунад ва онҳоро аз зарари гармӣ ва аксуламалҳои номатлуби химиявӣ кӯмак кунад.
Гидроген
Гидроген дар ҷараёни истеҳсолоти электронии электронӣ васеъ истифода бурда мешавад ва истеҳсоли нимноқил, истисно нест. Аз ҷумла, гидроген барои:
Муҳим: Оҳангҳои кремний одатан ба ҳарорати баланд тафсонида мешаванд ва оҳиста-оҳиста хунук (санад) сохтори кристалл. Гидроген барои интиқоли гармӣ ба зудӣ ва кӯмак ба барқарор кардани сохтори кристалл истифода мешавад.
ЭМИТАБСИЯД: Гидрогенҳои ULTA-баланди покӣ ҳамчун агенти коҳишдиҳӣ дар тамғаи иттилоотӣ дар диверакситии маснуоти нимназарк истифода бурда мешавад, ба монанди криликон ва Олмон.
Депоза: Гидрогенӣ ба филмҳои кремний барои сохтани сохтани атомии худ табдил дода мешавад, ки барои зиёд кардани тобовар кӯмак кунад.
Тозакунии плазма
CARNON
Аргтон як гази нозук аст, бинобар ин ҳамон реаксияи пастро ҳамчун нитроген ва Ҳелия нишон медиҳад. Аммо, нерӯи пасти иёлоти хурди anionanish Argon он дар барномаҳои нимназарк муфид аст. Азбаски сабукии нисбии ионизатсия, Args одатан ҳамчун гази ибтидоии плазма барои UTT ва аксуламалҳои фурӯш дар истеҳсоли нимноқил истифода мешавад. Илова бар ин, Argon инчунин дар лазерҳои Exciver барои Цитграфияи UV истифода мешавад.
Чаро чизҳои тозагӣ
Одатан, пешрафтҳо дар Технологияи нимноқил тавассути тамдиди ҳаҷм ба даст омадаанд ва насли нави техникаи нимноқилдор бо андозаи хурд тавсиф карда мешаванд. Ин имтиёзҳои сершумор медиҳад: Транзиторҳо дар як ҳаҷми ҳаҷм, ҷараёнҳои такмилдодашуда, истеъмоли қувваи барқ ва фурӯзон зудтар.
Аммо, ҳамчун андозаи интиқодӣ кам мешавад, дастгоҳҳои нимназарказӣ торафт мураккаб мешаванд. Дар ҷаҳоне, ки дар он ҷо мавқеи масъалаҳои алоҳидаи алоҳида, ҳадди ниҳоии таҳаммул маҳдуданд. Дар натиҷа, равандҳои муосири сюпсозии сементӣ газҳои равандро бо тозагии баланди имконпазир талаб мекунанд.
Объизаи беҳтарини технологияҳо дар муҳандисии системаи истифодаи газ аст: Системаи интиқоли гази давлатӣ, системаи пурзӯр, системаи интиқоли газ ва маҳсулоти махсуси коркарди газ, интихоби система, ҷузъҳои тайёр, насбкунӣ ва сохтмони система Сомонаи лоиҳа, санҷиши умумии система, хидматрасонӣ ва дигар маҳсулоти дастгирии ҳамгирошуда.
Вақти почта: jul-11-2023