Истифодаи газҳо дар саноати нимноқилҳо ба аввали солҳои 1950 то 1960-ум. Ҳангоми раванди истеҳсоли нимноқилӣ газҳо истифода мешаванд ва барои тоза ва ҳифз кардани маводи нимноқиқсозӣ барои таъмини покӣ ва сифати онҳо истифода мешаванд. Дар байни газҳои маъмултарини истифодашуда нитроген ва гидроген мебошанд.
Ҳамчун Технологияи нимназарказ таҳия ва равандҳои истеҳсолии истеҳсолӣ такмил дода шуданд, талабот ба газҳо зиёд шуд. Соли 1970 рушди минбаъдаи технологияи истеҳсоли нимноқилдории нимназаргузаронӣ дар равандҳои калидӣ, ба монанди Fetching ва амонатҳои борик тадриҷан зиёд шуд ва газҳои фторчиро (масалан, SF6) ва газҳои маъмулӣ табдил дод. 1980 афзоиши минбаъдаи талабот ба газҳо бо рушди митинги ҳамгирошудаи ва афзоиши талабот ба онҳо. Гидроген ба таври васеъ дар ҷараёни истеҳсолӣ истифода мешуд, аз ҷумла гидрогенӣ ва амонати буғии гидрогенӣ. Ва аз соли 1990 ба ҳозира, талабот ба газҳои баланд ва газҳои мушаххас, ҳамчун андозаи дастгоҳи семаккашдорон афзоиш ёфтанд ва равандҳои нав ҷорӣ карда шуданд. Масалан, истифодаи литографияи ултрабунафаи шадид (EUV) истифодаи газҳои беғарази баландро ба монанди нитроген ва гидроген талаб мекунад.
Бо рушди маҳсулоти марбут ба он, ки гази бештаре, ки аз онҳо ронда шудааст, маҳсулоти газҳои гарон ва пешгирии детекторҳои газ истифода мебаранд, ва нақшҳои онҳо чунинанд:
Танзимгарони фишор: Танзимҳои фишор дастгоҳҳое мебошанд, ки барои назорати газ истифода мешаванд. Онҳо одатан аз як қатор танзимгар ва санҷандандаи фишор иборатанд. Танзимгарони фишор Созишномаи газҳои баландкӯҳро ба даст оранд ва фишори гази баромадро тавассути тасҳеҳи клапан барои қонеъ кардани талаботи мушаххаси довталабӣ бардорад. Танзимгарони фишор дар минтақаҳое, аз қабили саноат, истеҳсолот ва лаборатория, инчунин дар саноати нимноқилонӣ, инчунин дар байни дигарон, таъмини субот ва бехатарии таъминоти газ васеъ истифода мешаванд.
Вилсилҳои газ: Вилсилаҳои газ барои назорат кардани ҷараёни газҳо ва пӯшидани пораҳои газ истифода мешаванд. Онҳо одатан функсияи хонандагон доранд / хомӯш мекунанд, ки ҷараёни газро мекушоянд ё пӯшидаанд. Намудҳои гуногуни қитъаҳои гуногуни газ мавҷуданд, аз ҷумла қитъаҳои дастӣ, клапҳои барқ ва қадрҳои пневматикӣ мавҷуданд. Онҳо дар системаҳои газ ба таври васеъ истифода мешаванд, то ҷараён, фишор ва суръати газҳои воридшавандаро назорат кунанд.
Газаҳои зарбаи газ: Барои чен кардани сатҳи фишор ба сатҳи фишор истифода мешаванд. Одатан, онҳо дар ҷойҳои муҳим дар ҷойҳои интиқодӣ дар системаҳои газ барои мониторинги фишор насб карда мешаванд ва кафолат дода мешаванд, ки онҳо дар доираи бехатар бошанд. Гӯрҳои фишори газ ба таври васеъ дар саноат, истеҳсолот ва лабораторияҳо ва саноати нимназаркор ҷалб карда шудаанд.
Детторҳои ихроҷи газҳо: Барои ошкор кардани ихроҷи партовҳо барои ташкили ихроҷи газ истифода мешаванд. Онҳо муайян мекунандМавҷудияти ихроҷи газ ва ҳушдор садо медиҳад, то амали саривақтӣ барои пешгирии садамаҳои дурдаст оварда шавад. Дошорони ихроҷи газ дар барномаҳои саноатӣ, кимиёвӣ, нафт ва газ истифода мешаванд ва саноати нимназаркор ҷалб карда шудааст.
Вақти почта: Feb-20-2024