Раванди гази махсус, ки дар раванди истеҳсоли TFT-LCD истифода мешавад, раванди таҳшинсозии CVD: силан (S1H4), аммиак (NH3), фосфор (pH3), ханда (N2O), NF3 ва ғайра, ва ба ғайр аз раванди тозагии баланд водород ва нитрогени соф баланд ва дигар газхои калон.Дар раванди пошидан гази аргон истифода мешавад ва гази плёнкаи пошидан маводи асосии пошидан мебошад.Аввалан, гази ташаккулдиҳандаи плёнка бо ҳадаф ба таври кимиёвӣ реаксия карда намешавад ва гази мувофиқтарин гази инертист.Миқдори зиёди гази махсус низ дар раванди etching истифода мешавад, ва гази махсуси электронӣ асосан оташгиранда ва тарканда аст, ва гази хеле заҳролуд, аз ин рӯ, талабот ба роҳи газ баланд аст.Wofly Technology ба тарҳрезӣ ва насби системаҳои нақлиётии тозагии баланд тахассус дорад.
Газҳои махсус асосан дар саноати LCD барои ташаккули филм ва равандҳои хушккунӣ истифода мешаванд.Дисплейи булӯри моеъ дорои навъҳои гуногуни таснифот мебошад, ки дар он TFT-LCD зуд, сифати тасвир баланд ва хароҷот тадриҷан кам мешавад ва технологияи аз ҳама васеъ истифодашавандаи LCD дар айни замон истифода мешавад.Раванди истеҳсоли панели TFT-LCD метавонад ба се марҳилаи асосӣ тақсим карда шавад: массиви пеши, раванди бокси миёна нигаронидашуда (CELL) ва раванди насби модул пас аз марҳила.Гази махсуси электронӣ асосан ба ташаккули филм ва хушкшавии марҳилаи қаблии раванди массив татбиқ карда мешавад ва мутаносибан як филми ғайриметаллӣ SiNX ва дарвоза, манбаъ, дренаж ва ITO ва филми металлӣ ба монанди дарвоза, сарчашма, дренаж ва ITO.
Нитроген / Оксиген / Аргон аз пӯлоди зангногир 316 Панели идоракунии гази нимавтоматӣ
Вақти фиристодан: январ-13-2022